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氣體流量的定量控制

更新時(shí)間:2024-08-30      點(diǎn)擊次數(shù):1165

氣體流量控制器在一些應(yīng)用中需要用到充氣量的累積值,那么如何精準(zhǔn)控制累積充氣量呢?

在我司的MFC功能中,設(shè)置了到累積流量值后自動(dòng)設(shè)定瞬時(shí)流量值為0 的功能。

首先在表體內(nèi)設(shè)定所需要的累積流量(累積氣量),然后設(shè)定進(jìn)氣的實(shí)時(shí)流量(瞬時(shí)流量),MFC會(huì)開(kāi)啟累積功能,當(dāng)累積流量達(dá)到所設(shè)定目標(biāo)值后,就會(huì)自動(dòng)停止供氣。

這種控制方式既可以在表體屏幕上操作也可以通過(guò)電腦等上位機(jī)控制,配備有485Modbus通訊。

此款流量控制器的其它技術(shù)參數(shù)如下:(另有0.5%FS精度可選)

技術(shù)指標(biāo):

ACU10FD-LC 質(zhì)量流控制器

量程范圍:2SCCM ~ 300SLM

控制器閥控范圍: 50:1

準(zhǔn)確度±1.0%F.S

線性±0.5%F.S

重復(fù)精度±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間<1.5S

數(shù)字量RS232/485,MODBUS 協(xié)議

模擬量0 ~ 5V、4-20mA、1 ~ 5V

供電±15VDC,24VDC

工作溫度0 ~ 50℃

工作壓差:0.05 ~ 0.5MPa;

最大耐壓:3MPa/10MPa

電氣連接:DB15 孔

漏率:1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù):±0.025%F.S/℃

底座材質(zhì):不銹鋼

密封材質(zhì):氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠

接頭:φ3,φ6,1/8",1/4",1/2"。。??ㄌ?,VCR..(可按客戶要求匹配)

如果有其它定制參數(shù)請(qǐng)與頁(yè)面的產(chǎn)品經(jīng)理溝通。

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